西安帅时科技
 
设为首页   留言反馈   联系我们
 
   
 
首    页
关于我们
产品中心
联系我们
留言反馈
人才招聘
 
 
 
真空泵
氦质谱检漏仪
测试仪器
高纯薄膜材料
电子浆料
 
TranspectorXPR3 气体分析系统
 

Transpector®XPR3

——气体分析系统
扩展压强下的高灵敏度现场气体分析
PVD过程监测;无需复杂的压强转换
Transpector XPR3的应用
Ø PVD工艺模块
Ø 预清洗模块
Ø Non-clusterPVD设备
Ø Clamped的除气模块
低成本,高效益
用Transpector XPR3进行工艺监测可为您提供有关污染程度、出气量值、气体纯度和设备运行的实时数据。这个信息有助于产量与产额的最大化,由于问题的及时检测与诊断而降低损耗,由于更有效地采取预防性维护程序,可提高设备的运行时间。
Transpector XPR3的特点
Ø 新设计的离子源使污染的产生最小化,从而延长使用寿命和提供更清楚的讯号。
Ø 新型EM在PVD工艺压强下工作,提供更快速、清晰的数据收集和免除FC至EM的转换,简化数据的解译过程。
Ø 新型加长的四极杆场可提高低质量范围的过滤能力,提高质谱仪分辨同位素的灵敏度,从而改善氢的检测灵敏度。
Transpector XPR3是新一代的高压强四极场工艺气体分析仪。它研发于先前INFCON系统成功的基础上,在物理相汽淀积(PVD)检测中具有无比高的灵敏度、精确度和灵活性。一系列技术上的突破使轻便型Transpector XPR3的工作范围从20毫乇至超高真空,无需大型复杂的压强转换设备。
重新设计的长寿命离子源
INFCON专利的双离子源室经重新设计后,使污染的产生最小化,从而延长了离子源的使用寿命。双离子源的一个离子束用于四极分析器的分压强测量,另一个离子束提供总压强收
集器。从而得到精度可与电离真空计相比拟的连续的总压强测量。通过纠正高压强灵敏度的损失,这个革新方法提高了毫乇量级的测量精度。离子源之间的独特的相互作用解决了常规单离子源在高压强下传感器的非线性响应和数据的质量降低问题。作为新离子源的结果,Transpector XPR3提供清晰的讯号(高的信噪比)。
新型高压强电子倍增器产生快的、清楚的数据
新型INFCON电子倍增器(EM)自始至终保持高至10毫乇(1.3E-毫巴)的线性工作范围。这样在高压强测量时就不需要使用法拉第杯(FC)。从此不再需要EM与FC模式之间的转换,工艺过程与晶片间监测的过渡是完全光滑的,从而使数据易于解译。此外,EM在整个工艺过程和抽空过程中有EM提供滞留时间相对快速的清晰的讯号。
新型四极杆----提高氢的检测能力
新型加长的四极杆场可提高低质量范围的过滤能力,提高质谱仪同位素的分辨灵敏度,从而降低零点畸变和改善氢的检测灵敏度。INFCON专利的制造工艺避免了四极杆的机械装配。没有象其他四极场结构中发生的虚假峰现象,将达到卓越的质量分辨率,保证精确的对准值。
联锁保护
用INFCON皮拉尼真空计直接监测Transpector XPR3中的压强,保护灯丝。当压强超过值限时关断灯丝。当压强恢复至安全工作范围时自动接通灯丝。
全面支持
作为半导体气体分析仪器的全球领先者,INFCON具有开发革新的、可靠的、提高产额的监测系统资源,加上随时随地向需要者提供帮助的全球应用网路和专家支持。
外形尺寸
技术规范

质量范围(amu)
1-100
分辨率(按1993AVS建议的标准)
<1@10%,在质量为4,20,28和40下测量
质量分析器型式
四极场
检测器类型
离轴FC和微通道板EM
温度系数(在1E-4乇Ar下的FC讯号)
<1%峰高/ oC
质量位置稳定度(在稳定的STP条件下,在1E-4乇Ar下的FC讯号)
24小时内<0.1 amu
峰值比的稳定度(2/4,04/40,20/40,28/40)
24小时内<2%
灵敏度(标称值)
当FC 为40eV/200μA时
当EM为40eV/200μA时
≥4E-7安/乇(3E-7安/毫巴)
≥4E-3安/乇(3E-3安/毫巴)
最小可检分压强
当FC 为40eV/200μA时
当EM为40eV/200μA时
≤1E-9乇(1.3E-9毫巴)
≤6E-12乇(8E-12毫巴)
最大工作压强
使用FC或EM
使用FC或EM(线性运行)
20毫乇(2.6E-2毫巴)
10毫乇(1.3E-2毫巴)
传感器最高工作温度
150℃
最高烘烤温度(卸除电子学部分)
200℃
PPM可检测值限(在1-5毫乇过程压强下)
10 ppm
工作温度
20-50℃
功率输入
20-30伏DC,D型连接插头
与系统接地内部绝缘
RS232串列通讯接口
非绝缘的,波特率选择1200至9600,
D型连接插头
RS485可寻址通讯接口
绝缘的,57600波特率,半双工,
地址1-31,9-脚凹型“D”
继电器输出
4继电器,24伏,0.5安(1个用于工作状态)
3个用于设点值限)
输入
2个非绝缘TTL输入,触点闭合;
2个差分模拟输入,0-10伏DC

 

 

 
电话:029-88232016 029-88232289      陕ICP备06007186号