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IZ系列溅射离子泵
 

欧瑞康莱宝最新推出IZ系列溅射离子泵:
主要有以下特点: 选件:泵-IPC电缆
极限真空高 <1×10-12mbar 电缆 5米 225020 IPC定货号: 225000
无碳氢化合物污染 电缆 10米 225021
无振动 电缆 15米 225022 高真空连接 225019
抽速30l/s到400l/s 电缆 20米 225023

技术参数

单位

IZ 30

IZ 50

IZ 100

IZ 200

IZ 400

高真空连接

DN

40 CF

63 CF

100 CF

160 CF

160 CF

10-9 mbar N2的抽速

I/s

30

45

100

200

400

10-9 mbar Ar的抽速

I/s

48

105

190

转速

rpm

36000

24000

36000

36000

36000

推荐启动压力

mbar

< 8.0x10-5

< 8.0x10-5

< 5.0x10-5

< 3.8x10-5

< 3.0x10-5

极限真空度

mbar

< 10-11

< 10-11

< 10-11

< 10-11

< 10-11

系统加热电压

VAC

220 - 240

220 - 240

220 - 240

220 - 240

系统加热功率

W

300

320

600

800

内置加热器温度

°C

250

250

250

250

内置加热器最大排气温度

°C

350

350

350

350

350

工作电压

kV

+7.5

+7.5

+7.5

+7.5

+7.5

环境允许温度

°C

0 bis +40

0 bis +40

0 bis +40

0 bis +40

0 bis +40

环境允许湿度

%

< 85

< 85

< 85

< 85

< 85

外形尺寸(W x D x H)

mm

183x103x187

209x163x241

336x155x340

361x296x376

544x96x376

重量(包括加热系统)

kg

9.5

12

37

65

124

定货号

225005

225004

225003

225002

225001

控制单元

 

IPC

IPC

IPC

IPC

IPC

 

 

 
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