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涡轮分子泵系列
 

莱宝的TUBOVAC系列陶瓷轴承涡轮分子泵有五种规格,抽速自50至1100升/秒,极限真空度为<10-10mbar。
其主要特点为:
- 陶瓷轴承为脂润滑,无维护运行时间长。
- 允许任意角度安装。
- 有水冷和风冷两种选择。
- 对H2的压缩比大。
- 无油真空泵,可用来产生洁净的超高真空。


TW系列复合分子泵
抽速: 70 ~ 1600 升 / 秒
极限真空度: 10-9 mbar
最大允许前级压强: 6 ~ 14mbar
主要特点有:
 - 转子叶片为一次成型,消除了叶片应力,使得前级耐压高达 14mbar ,并能抵抗短暂的大气冲击。
 -高效的风冷系统,使其在绝大多数工作条件下无需冷水。
 - 变频器与泵体的一体化设计,避免了连接变频器带来的不便。
 - 模块化的设计为用户提供了多种选择。
 - 结构紧凑,可方便地安装到复杂的系统中。
 - 可以任意角度安装。
 - 螺旋式的拖动级耐粉尘能力强。
 - 轴承为油脂润滑,无维护运行时间长。
 - 无油真空泵,可用来产生洁净的高真空和超高真空。
 - 可在轴承需要维护时提前预警。
 - 通过通讯接口可以与掌上电脑, PC 或 PLC 联络,以读取分子泵工作状态的参数,以及储存单元的运行记录;并可根据需要对某些参数进行修改,如频率等。
 - 高前级耐压降低了对前级泵的要求,使得系统总体造价降低。

新一代数字化控制,五轴定位的磁悬浮分子泵
MAG 1500C/CT , MAG2000C/CT , MAG2200C/CT , MAG 2800C/CT , MAG 3200C/CT
抽速: 1500l/s ~ 3200l/s
• 五轴定位双端磁悬浮轴承系统,自平衡性能好全无油,耐粉尘、抗气流冲击。
• 转子采用高强度铝合金,一次高速铣削成形,应力小,强度高,耐冲击,高温变形量小,转子叶片不易卷曲、打碎;转子长期运行温度可高达 120 ℃ 。
• 转子及定片均采用莱宝专利技术的 KAPLAR 涂层
• 较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能,适用于抽除腐蚀性强的工艺气体;
• 降低气流与转子叶片摩擦产生的热量,降低转子运行温度,有利于延长转子寿命;
• 叶片镀 KAPLAR 的转子较镀镍的转子重量更轻。
• 保护轴承为陶瓷轴承,寿命长( >600 次),无需更换保护轴承。
• 高真空端连接采用 ISO-F ,连接螺栓强度高,充分保障安全。
• 智能化电源,无需 UPS 。
• 带拖动级,前级耐压在 2mbar 以上。
• 分子泵运行温度可调节,使其充分适应不同工艺制程。
• 最先进的数字控制技术
• 运行速度、温度可设置;
• 运行数据记录存储,提供多达 180 条运行信息;
• 磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制,信号处理速度快,系统反应时间短
• 转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时,磁场补偿反应时间短;
• 在气流长时间( 2 分钟以上)过大,而使泵负载过高,发热量过大时,泵速会快速自动调节,使泵温下降到正常水平。
• 控制器与泵无识别性,可互换。
• 免维护。
典型应用:
适用于
• 所有半导体主要制程:刻蚀、化学气相沉淀及离子注入
• 科研领域
• 镀膜
另外,莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的 TURBOVAC340M , MAG400 和 MAG 1000 。


                   

 

 

 
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